[实用新型]一种多尺寸通用型石英舟

摘要

本实用新型提供了一种多尺寸通用型石英舟。包括平行且非共面布设至少三支撑杆、对位设置的二固定板和底座；其中，支撑杆之间形成有用于放置硅片的放置区域，支撑杆的轴向上形成有间隔布设且匹配于硅片的多个槽口，支撑杆两端分别形成沿支撑杆轴向间隔布设的二定位孔，二固定板之间安装有支撑杆，固定板上形成有对应于支撑杆的腰形孔，支撑杆滑设于腰形孔中并在滑移到位后通过定位件定位于固定板上，定位件插设于定位孔中并抵顶于固定板，支撑杆的同一端二定位孔中的定位件分别抵顶于同一固定板的两侧侧面，底座固设于固定板的底部。采用本实用新型中的石英舟可以承载不同尺寸大小的硅片，具有较好的适应性，避免使用过程中硅片发生轴向的位移。

主权项

1.一种多尺寸通用型石英舟，其特征在于，包括：平行且非共面布设至少三支撑杆，所述支撑杆之间形成有用于放置硅片的放置区域，所述支撑杆的轴向上形成有间隔布设且匹配于所述硅片的多个槽口，所述支撑杆两端分别形成有二定位孔，二所述定位孔沿所述支撑杆的轴向间隔布设；对位设置的二固定板，二所述固定板之间安装有所述支撑杆，所述固定板上形成有对应于所述支撑杆的腰形孔，所述支撑杆滑设于所述腰形孔中并在滑移到位后通过定位件定位于所述固定板上，所述定位件插设于所述定位孔中并抵顶于所述固定板，所述支撑杆的同一端二定位孔中的定位件分别抵顶于同一所述固定板的两侧侧面；底座，固设于所述固定板的底部。