[实用新型]一种可拆卸石英舟

摘要

本实用新型提供了一种可拆卸石英舟。包括相互平行设置的二立板和安装于二立板之间的四个固定杆；其中，立板上开设有定位孔，固定杆安装于二立板之间的四个固定杆，四固定杆呈倒等腰梯形分布，固定杆上套设有多个限位环，限位环上形成有用于放置硅片的凹槽，固定杆的两端端部分别形成有外螺纹，固定杆插设于定位孔中并通过螺接件定位于立板上，螺接件包括匹配于外螺纹的内螺纹，固定杆的同一端螺接有二螺接件且二螺接件分别支抵于同一端立板的两侧。采用本实用新型中的石英舟，在立板、限位环或固定杆损坏时可以对单个构件进行更换，无需更换整个石英舟，提高了生产效率，同时降低了生产成本。

主权项

1.一种可拆卸石英舟，其特征在于，包括：相互平行设置的二立板，所述立板上开设有定位孔；安装于二所述立板之间的四个固定杆，四所述固定杆呈倒等腰梯形分布，所述固定杆上套设有多个限位环，所述限位环上形成有用于放置硅片的凹槽，所述固定杆的两端端部分别形成有外螺纹，所述固定杆插设于所述定位孔中并通过螺接件定位于所述立板上，所述螺接件包括匹配于所述外螺纹的内螺纹，所述固定杆的同一端螺接有二所述螺接件且二所述螺接件分别支抵于同一端所述立板的两侧。