[实用新型]一种晶圆清洗干燥装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆清洗干燥装置，包括底座，所述底座顶部固定连接有支架，所述支架内壁一侧上端固定连接有移位电机，所述移位电机一侧通过输出轴转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆外表面通过螺纹连接有螺纹轴套，所述螺纹轴套底部固定连接有气缸，所述气缸底部通过输出轴固定连接有F形固定架，所述F形固定架下端固定连接有固定装置，所述固定装置内表面转动连接有晶圆，本实用新型涉及半导体技术领域。该晶圆清洗干燥装置，达到了连续进行清洗干燥、清洗效果好、提高工作效率的目的，整个过程连续进行，不存在中断的时间，节省清洗和干燥的时间，提高了工作效率，将污物摩擦去除，使得清洗的效果更好，提高了清洗效率。

主权项

1.一种晶圆清洗干燥装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部固定连接有支架(2)，所述支架(2)内壁一侧上端固定连接有移位电机(3)，所述移位电机(3)一侧通过输出轴转动连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)外表面通过螺纹连接有螺纹轴套(5)，所述螺纹轴套(5)底部固定连接有气缸(6)，所述气缸(6)底部通过输出轴固定连接有F形固定架(7)，所述F形固定架(7)下端固定连接有固定装置(8)，所述固定装置(8)内表面转动连接有晶圆(9)，所述底座(1)顶部固定连接有清洗室(10)和干燥室(12)，所述清洗室(10)内壁两侧设置有清洗喷头(11)，所述清洗喷头(11)输入口固定连通有输液管，所述干燥室(12)内壁一侧下端固定连接有干燥腔(13)，所述干燥腔(13)内壁顶部固定连接有加热管道(14)，所述加热管道(14)内壁固定连接有电加热管(15)，所述加热管道(14)一端通过进风管固定连通有风机(16)。