[实用新型]一种新型电容式六维力传感器

摘要

本实用新型公开了一种新型电容式六维力传感器，其包括变形层、测量层、PCB板、过载保护部分。测量层固定于变形层内圈上，PCB板固定于变形层外圈。测量层上的动电极部分与PCB板上的静电极部分组成8个电容器，其中4个为具有边缘效应的垂直型电容器，4个为平行板电容器。变形层内圈受空间力使变形层的蛇形梁发生变形，从而电容器两极板极距发生改变，对应的电容量也发生改变，通过检测电路采集电容量的改变值，进行解耦计算，求出对应力的六维数值。本实用新型采用测量层与变形层分层的设计方法降低制作难度，同时采用蛇形梁使传感器满量程时各维度的刚度相似，以达到传感器宽量程和高灵敏度的要求。