[实用新型]一种掩膜版搬运装置

摘要

本实用新型公开了一种掩膜版搬运装置，包括行驶部、支撑部、升降部和控制部，所述行驶部包括2个对称设置的支撑板，所述支撑板的前端设置有前置导向轮，支撑板的外侧设置有侧面导向轮，前置导向轮和侧面导向轮与地面具有一定高度且与地面平行，所述支撑板的底部设置有副轮，支撑部包括2个对称设置的立柱，立柱垂直设置在支撑板上，升降部包括设置在立柱前端的直线导轨，所述直线导轨内设置有牙叉，2个牙叉之间通过连接板连接，所述控制部驱动牙叉上下移动。本实用新型实现了对大尺寸掩膜版的搬运，减少人为接触，大幅度降低产品缺陷、报废发生风险，同时提高产品搬运、装卸时的效率和精度。

主权项

1.一种掩膜版搬运装置，其特征在于，包括行驶部、支撑部、升降部和控制部，所述行驶部包括2个对称设置的支撑板(1)，所述支撑板(1)的前端设置有前置导向轮(14)，所述支撑板(1)的外侧设置有侧面导向轮(12)，所述前置导向轮(14)和侧面导向轮(12)与地面具有一定高度且与地面平行，所述支撑板(1)的底部设置有副轮(13)，所述支撑部包括2个对称设置的立柱(2)，所述立柱(2)垂直设置在支撑板(1)上，所述升降部包括设置在立柱(2)前端的直线导轨(3)，所述直线导轨(3)内设置有牙叉(31)，所述牙叉(31)能够沿着直线导轨(3)在竖直方向上下移动，2个牙叉(31)之间通过连接板(32)连接，所述控制部驱动牙叉(31)上下移动。/n