[实用新型]SF6纯度分析进样装置

摘要

本实用新型公开了一种SF₆纯度分析进样装置，包括样品气瓶、标气瓶、H₂发生器，设置减压阀、流量控制阀、六通阀和电磁阀顺次管路连接，所述电磁阀与所述H₂发生器连接；设置切换阀与所述减压阀管路连接，所述样品气瓶与所述切换阀管路连接，所述标气瓶连接第二减压阀后与所述切换阀管路连接；设置由电路控制系统控制的真空泵与所述六通阀管路连接，所述六通阀再与SF₆纯度分析仪连接。本实用新型具有密封良好、性能可靠、操作方便、管路短等优点，可排除空气干扰，避免了重复进样；进样恒定，重复性好；两路进样，无需换气瓶，减少操作步骤；减少进样次数，减少SF₆气体排放，缩短试验时间，提高工作效率。

主权项

1.一种SF₆纯度分析进样装置，包括样品气瓶（11）、标气瓶（7）、H₂发生器（13），其特征在于，设置减压阀（1）、流量控制阀（2）、六通阀（3）和电磁阀（4）顺次管路连接，所述电磁阀（4）与所述H₂发生器（13）连接；设置切换阀（6）与所述减压阀（1）管路连接，所述样品气瓶（11）与所述切换阀（6）管路连接，所述标气瓶（7）连接第二减压阀（12）后与所述切换阀（6）管路连接；设置由电路控制系统（10）控制的真空泵（5）与所述六通阀（3）管路连接，所述六通阀（3）再与SF₆纯度分析仪（14）连接。