[实用新型]一种适用于高纯介质提纯的换热器有效
申请号: | 201920038481.3 | 申请日: | 2019-01-10 |
公开(公告)号: | CN209689435U | 公开(公告)日: | 2019-11-26 |
发明(设计)人: | 甘万;杨欣 | 申请(专利权)人: | 上海盛韬半导体科技有限公司 |
主分类号: | F28D7/04 | 分类号: | F28D7/04;F28F21/08;B21D53/06 |
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地址: | 201315 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供一种适用于高纯介质提纯的换热器,包括壳体和设置在壳体内的盘管;所述壳体从上而下依次由盖板、筒身、法兰和底板构成,所述盘管包括弯管、输入主管和输出主管,所述弯管呈圆环形结构,由数根内壁经过EP处理的不锈钢EP管再经盘管处理后紧密排列制成;所述弯管的进口端与输入主管连接,其出口端与输出主管连接,且所述弯管与输入主管和输出主管不在同一平面上。本实用新型的盘管为内壁经过EP处理的不锈钢EP管,更能够适用于半导体行业所需要的高纯气体环境,提纯效果更好,且换热器管路采用盘管处理方式紧密排列,换热面积大,效率高,与同等换热效率的换热器相比,占地体积较小。 | ||
搜索关键词: | 盘管 弯管 主管 本实用新型 紧密排列 换热器 壳体 内壁 输出 不锈钢 底板 半导体行业 换热器管路 圆环形结构 处理方式 从上而下 高纯气体 提纯效果 热效率 出口端 进口端 盖板 提纯 法兰 高纯 换热 经盘 筒身 体内 | ||
【主权项】:
1.一种适用于高纯介质提纯的换热器,其特征在于,包括壳体和设置在壳体内的盘管(1);所述壳体从上而下依次由盖板(2)、筒身(3)、法兰(4)和底板(5)构成,所述盖板(2)、筒身(3)和法兰(4)通过焊接连接形成容纳盘管(1)的腔体,所述法兰(4)和底板(5)之间设有密封用的垫片,所述法兰(4)与底板(5)通过螺栓和螺母连接固定;所述盖板(2)上设有2个开口,分别为在换热器腔体内部温度升高时用于排气的排气口(6),以及在清洗管路时用于排掉管路中的脏物和清洗介质的排净口(7),所述盖板(2)的内侧设有2个用于固定盘管(1)的开槽(8);所述底板(5)的内部设有4个开口,分别为换热介质进出的壳程进口(9)和壳程出口(10),以及提纯的物质进出的管程进口(11)和管程出口(12),所述底板(5)上还设有用于排放换热器腔体内物质的排放口(13);/n所述盘管(1)包括弯管(14)、输入主管(15)和输出主管(16),所述弯管(14)呈圆环形结构,由数根内壁经过EP处理的不锈钢EP管再经盘管处理后紧密排列制成;所述弯管(14)的进口端与输入主管(15)连接,其出口端与输出主管(16)连接,且所述弯管(14)与输入主管(15)和输出主管(16)不在同一平面上。/n
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