[实用新型]一种光谱稳定的线宽调整装置及系统有效
| 申请号： | 201920016353.9 | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN209446454U | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 王倩;吴劲松;杨军红;江锐;赵江山;周翊;胡馨月;辛茗 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/64 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的光谱稳定的线宽调整装置及系统，通过线阵CCD捕捉光束中心位置及角度的变化信息，通过调节第一棱镜的角度及位置对线宽度及位置的变化进行补偿，从而实现激光光谱的稳定输出，本装置结构小巧紧凑、操作简便，可通过软件编写实现自动调整，调节速度快，精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 线宽调整装置 光谱稳定 光束中心位置 本实用新型 变化信息 激光光谱 软件编写 稳定输出 装置结构 线阵CCD 棱镜 对线 紧凑 捕捉 | ||
【主权项】：
1.一种光谱稳定的线宽调整装置，其特征在于，包括用于选择色散及激光中心波长的光栅、棱镜组、调整机构、线阵CCD以及控制器，所述棱镜组包括多个棱镜，所述多个棱镜按照预定位置摆放，所述多个棱镜中激光振荡输出侧的第一棱镜设置在所述调整机构上，由准分子激光器发出的激光照射在所述第一棱镜，部分激光光束经过所述第一棱镜的反射照射在所述线阵CCD，所述线阵CCD记录当前光束中心位置以及光束宽度，并将所述光束中心位置及光束宽度传输至所述控制器，所述控制器根据所述光束中心位置及所述光束宽度的变化情况控制所述调整机构调节所述第一棱镜的位置或角度回到初始位置。
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