[实用新型]一种氟氮混合气自动配气装置有效
申请号: | 201920010977.X | 申请日: | 2019-01-04 |
公开(公告)号: | CN209630999U | 公开(公告)日: | 2019-11-15 |
发明(设计)人: | 刘坚;马文 | 申请(专利权)人: | 青岛塑之源包装科技有限公司 |
主分类号: | B01F3/02 | 分类号: | B01F3/02;B01F15/04 |
代理公司: | 11572 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 段宇<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
地址: | 266600山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型涉及配气装置技术领域,且公开了一种氟氮混合气自动配气装置,包括30%氟氮混合气箱、配气箱、99.99%氮气箱和支板,30%氟氮混合气箱与配气箱之间设有连通管二,连通管二一端贯穿配气箱侧壁延伸至配气箱内部。本实用新型通过设置可编程控制器、人机交互界面、判断模块、中央处理器、驱动单元、检测模块一、检测模块二、反馈单元、计算模块和比较模块,高精度热式气体质量流量计一和高精度热式气体质量流量计二均采用具有温度压力补偿功能的高精度热式气体质量流量计,配合能够自动实时计算的可编程控制器使用,从而达到了提高了成品气浓度的精确度和稳定性的目的。 | ||
搜索关键词: | 配气箱 热式气体质量流量计 氟氮混合气 可编程控制器 本实用新型 检测模块 连通管 人机交互界面 温度压力补偿 自动配气装置 中央处理器 比较模块 侧壁延伸 反馈单元 计算模块 判断模块 配气装置 驱动单元 实时计算 成品气 氮气箱 支板 贯穿 配合 | ||
【主权项】:
1.一种氟氮混合气自动配气装置,包括30%氟氮混合气箱(1)、配气箱(2)、99.99%氮气箱(3)和支板(13),其特征在于:所述30%氟氮混合气箱(1)与配气箱(2)之间设有连通管二(7),所述连通管二(7)一端贯穿配气箱(2)侧壁延伸至配气箱(2)内部,所述连通管二(7)另一端贯穿30%氟氮混合气箱(1)侧壁延伸至30%氟氮混合气箱(1)内部,所述99.99%氮气箱(3)与配气箱(2)之间设有连通管一(6),所述连通管一(6)一端贯穿配气箱(2)侧壁延伸至配气箱(2)内部,所述连通管一(6)另一端贯穿99.99%氮气箱(3)侧壁延伸至99.99%氮气箱(3)内部,所述30%氟氮混合气箱(1)和99.99%氮气箱(3)位于配气箱(2)两侧,所述连通管一(6)内部安装有热式气体质量流量计一(4)和电动阀门一(5),所述连通管二(7)内部安装有电动阀门二(9)和热式气体质量流量计二(10),所述热式气体质量流量计一(4)内部设置有检测模块一(18),所述热式气体质量流量计二(10)内部设置有检测模块二(19),所述支板(13)顶部底部连接有控制箱(8),所述控制箱(8)内部设置有中央处理器(16)、驱动单元(17)、反馈单元(20)、比较模块(22)和判断模块(15),所述支板(13)顶部安装有人机交互界面(12)和可编程控制器(11),所述检测模块一(18)信号输出端和检测模块二(19)信号输出端均与中央处理器(16)信号输入端信号连接,所述中央处理器(16)信号输出端与可编程控制器(11)信号输入端信号连接,所述可编程控制器(11)信号属输入端与人机交互界面(12)信号输出端信号连接,所述可编程控制器(11)内部设置有计算模块(21),所述计算模块(21)信号输出端与比较模块(22)信号输入端信号连接,所述比较模块(22)信号输出端与判断模块(15)信号输入端信号连接,所述判断模块(15)信号输出端与反馈单元(20)信号输入端信号连接,所述反馈单元(20)信号输出端与中央处理器(16)信号输入端信号连接,所述中央处理器(16)信号输出端与驱动单元(17)信号输入端信号连接。/n
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