[实用新型]一种薄膜拉伸应变的测试器有效
| 申请号： | 201920002454.0 | 申请日： | 2019-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN209513435U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 张晓民;冯杰;李金刚;任金彬 | 申请（专利权）人： | 西安建筑科技大学 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 王晶 |
| 地址： | 710055*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种薄膜拉伸应变的测试器，包括水平基座，水平基座上方放置有测试样品，测试样品上方设置有用于定位的显微镜，水平基座上设置有用于进行轴线位移的左轴向线性位移台和右轴向线性位移台，的左轴向线性位移台和右轴向线性位移台顶部设置有左圆柱和右圆柱，左圆柱和右圆柱与设在测试样品的左圆孔和右圆孔对应设置，本实用新型具有测试平台简单、成本低、测试方便的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 线性位移 测试样品 水平基座 薄膜拉伸 测试器 右轴 圆孔 左轴 本实用新型 测试平台 顶部设置 轴线位移 显微镜 测试 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜拉伸应变的测试器，其特征在于，包括水平基座(2)，水平基座(2)上方放置有测试样品(1)，测试样品(1)上方设置有显微镜(7)，所述的水平基座(2)上设置有用于进行轴线位移的左轴向线性位移台(5)和右轴向线性位移台(6)，所述的左轴向线性位移台(5)和右轴向线性位移台(6)顶部设置有左圆柱(14)和右圆柱(15)，左圆柱(14)和右圆柱(15)与设在测试样品(1)的左圆孔(10)和右圆孔(11)对应设置，所述的测试样品(1)由紧凑拉伸测试样品晶圆基底(8)和基底表面微桥薄膜样品(9)组成。
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