[发明专利]一种电极窗口、具有电极窗口的半导体器件的制作方法有效
| 申请号： | 201911424072.8 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111162447B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 苏州辰睿光电有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/024 | 分类号： | H01S5/024;H01S5/028;H01S5/042;H01S5/22 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 周卫赛 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电极窗口的制作方法，包括以下步骤：在半导体本体的第一表面上制作向外突出的凸起部；在半导体本体形成凸起部的一侧依次制备绝缘层和平坦化层，绝缘层覆盖凸起部的外侧表面且具有与平坦化层不同的第一颜色；平坦化层覆盖绝缘层，以及竖向区域与第一表面的外部空间，且在靠近凸起部顶部区域的一侧形成连续平面；执行刻蚀处理，刻蚀工艺包括对平坦化层的连续平面进行刻蚀处理至具有第一颜色的绝缘层露出的第一刻蚀工艺；以及对露出的绝缘层进行刻蚀处理，形成露出凸起部顶部区域的开口的第二刻蚀工艺。上述制作方法能够通过自动对准刻蚀制作电极窗口，降低了电极窗口的制作难度，适于在窄线宽的脊型波导器件上开设电极窗口。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 窗口 具有 半导体器件 制作方法 | ||
【主权项】：
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