[发明专利]一种异质结太阳能电池成膜生产工艺

摘要

本发明公开了一种异质结太阳能电池成膜生产工艺。其具体工艺为：先将制绒清洗后、待成膜的单晶硅片装至一块基板上，并至少在一个成膜单元对该单晶硅片采用等离子体处理后再直接对单晶硅片进行一次i型非晶硅成膜和n型非晶硅成膜；还采用另外一个或多个成膜单元对单晶硅片进行另外的非晶硅成膜；最后将完成工艺处理的承载单晶硅片的基板移出沉积系统外，冷却，卸载硅片。优点在于：在保证成膜工艺稳定及薄膜质量良好的前提下节约了镀膜及在沉积腔中的处理时间，由此在保证产品质量的同时，并达到了提高设备产能、降低生产成本、提高设备运行稳定性的目的，从镀膜效果看，有利于提高产品的开路电压和短路电流，弥补了带来的交叉污染的弊端。