[发明专利]手套箱系统有效
| 申请号： | 201911411454.7 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111086029B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 邴一飞 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B25J21/02 | 分类号： | B25J21/02 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 吕姝娟 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种手套箱系统,包括:操作箱,包括一操作腔室和复数个手套；纯化系统,包括一纯化腔室,以及位于所述纯化腔室中的至少一氧过滤单元和至少一水过滤单元、以及外接管路,用于将外部空气导至所述纯化腔室；以及循环管路,包括第一循环管路和第二循环管路；所述第一循环管路用于将所述纯化腔室中的空气导至所述操作腔室中,以及所述第二循环管路用于将所述操作腔室中的空气导至所述纯化腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 手套 系统 | ||
【主权项】：
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