[发明专利]宽谱线高分辨率光学系统有效
| 申请号： | 201911392559.2 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN113126281B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏 | 申请（专利权）人： | 张家港中贺自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B13/00 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 杨淑霞 |
| 地址： | 215614 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种宽谱线高分辨率光学系统，其包括：光源单元、照明单元、成像单元；光源单元包括：光源以及聚光元件，照明单元包括：第一照明镜头、匀光部件、第二照明镜头，经过第二照明镜头的光束投射至第二照明面；成像单元包括：第一成像镜头，其包括依次设置的：第一成像镜组、第二成像镜组以及第三成像镜组。本发明的宽谱线高分辨率光学系统区别于现有技术，其检测视场(FOV)较小时，数值孔径(NA)比较大，接近于1，分辨率比较高；当检测视场(FOV)变大时，数值孔径(NA)不会相应减小，而是保持基本不变，其分辨率也会保持基本不变。(NA)*(FOV)会随着(FOV)增大而按比例增大，实现高分辨率大视场的效果，最终实现高分辨率的快速检测。 | ||
| 搜索关键词： | 宽谱线 高分辨率 光学系统 | ||
【主权项】：
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