[发明专利]一种三轴MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 201911390649.8 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111024057B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 王辉 | 申请（专利权）人： | 无锡莱斯能特科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712 |
| 代理公司： | 上海震亚律师事务所 31403 | 代理人： | 李秀兰 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括基底，第一检测部，用于检测绕X方向的角速度；第二检测部和第三检测部，对称设置在第一检测部的两侧，分别和第一检测部相连，并被设置为能够提供方向相反的驱动力，以及能用于检测绕Y方向和绕Z方向的角速度；其中，X方向垂直于Y方向，Z方向垂直于X方向和Y方向；悬挂装置，设置在第一检测部、第二检测部和第三检测部外侧，悬挂装置和第二检测部及第三检测部相连，并和支撑装置相连，实现悬挂装置的悬挂；和支撑装置，固定设置在基底上。本发明的三轴MEMS陀螺仪结构简单、紧凑、输出信号强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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