[发明专利]半导体衬底中具有衍射透镜的图像传感器

摘要

本公开涉及半导体衬底中具有衍射透镜的图像传感器。本发明公开了一种图像传感器，所述图像传感器可包括成像像素阵列。每个成像像素可具有光敏区域，所述光敏区域形成在半导体衬底中，由相应的微透镜覆盖，所述微透镜将光聚焦到所述光敏区域上。每个成像像素还可包括形成在所述半导体衬底中的衍射透镜。所述衍射透镜可扩散光以增加所述光敏区域内的入射光的平均路径长度并提高所述像素的效率。可在所述半导体衬底上方形成附加的衍射透镜，以将光聚焦到所述衍射透镜上并进一步提高效率。可在单个成像像素的所述半导体衬底中形成多个衍射透镜。所述衍射透镜可以为多部分衍射透镜。