[发明专利]一种膜片式应变计及其优化方法有效
申请号: | 201911384473.5 | 申请日: | 2019-12-28 |
公开(公告)号: | CN110895130B | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 晏志鹏;雒平华;张勋;赵凯锋;刘旭;刘建群;李文渊 | 申请(专利权)人: | 中航电测仪器股份有限公司 |
主分类号: | G01B7/16 | 分类号: | G01B7/16 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 王艾华 |
地址: | 723007 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种膜片式应变计及其优化方法,所述膜片式应变计包含径向栅和周向栅,周向栅位于图形的中心区域,敏感栅的栅条呈圆周状,形成回路;径向栅位于图形的外边缘区域,敏感栅的栅条沿半径方向呈扇形布局,形成回路。所述优化方法首先通过调整内栅的电阻设计比率与外栅的电阻比率的差值,抵消掉由于蚀刻时敏感栅的蚀刻方向、速率不同造成电阻栅间差值;其次合理设计应变计的焊盘位置和形状,可以直接进行盖层制作,并且可实现应变计引线,增加引线焊接的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 膜片 应变 及其 优化 方法 | ||
【主权项】:
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