[发明专利]一种光电探测器

摘要

为解决现有光电探测器具有响应度较低且无法满足高光功率探测的需求的问题，本申请实施例提供一种光电探测器，涉及光电探测器技术领域，所述光电探测器包括：硅层，所述硅层包括第一掺杂类型的掺杂区；与所述硅层接触的锗层，所述锗层包括第二掺杂类型的掺杂区；氮化硅波导，所述氮化硅波导包括第一波导区和第二波导区，所述锗层设置在所述第一波导区和所述第二波导区之间；与所述氮化硅波导连接的分光波导，所述分光波导用于将接收的光信号分为至少两路光信号，并将其中两路光信号分别输出至所述第一波导区和所述第二波导区；其中，所述氮化硅波导用于传输光信号，并将所述光信号耦合至所述锗层；所述锗层用于探测所述光信号，并将所述光信号转换为电信号。