[发明专利]一种硅片生产切片去胶装置有效

专利信息
申请号: 201911381313.5 申请日: 2019-12-27
公开(公告)号: CN111113705B 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 杨兆安 申请(专利权)人: 中科同帜半导体(江苏)有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00;B08B3/10;B08B13/00
代理公司: 台州市台创工联专利代理事务所(普通合伙) 33427 代理人: 金俊男
地址: 225400 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明属于硅片生产技术领域,尤其是一种硅片生产切片去胶装置,针对切割晃动的问题,现提出以下方案,包括工作台和去胶箱,所述工作台的底部外壁设置有支撑腿,且工作台的顶部外壁安装有传动带,所述工作台的外壁两侧设置有切片箱,且切片箱的内壁两侧均设置有第二电动伸缩杆,第二电动伸缩杆的另一端设置有固定板,所述切片箱的顶部内壁设置有切割机构,且切片箱的一侧内壁设置有加热机构。本发明通过设置有电动伸缩杆、第二电动伸缩杆、固定板、光幕传感器、受光器和处理器,硅片经过光幕传感器时,受光器接收不到光信号,受光器将信号传递给处理器,处理器作用于电动伸缩杆和第二电动伸缩杆,便于对硅片进行固定和切割。
搜索关键词: 一种 硅片 生产 切片 装置
【主权项】:
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