[发明专利]一种硅片生产切片去胶装置有效
申请号: | 201911381313.5 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN111113705B | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 杨兆安 | 申请(专利权)人: | 中科同帜半导体(江苏)有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00;B08B3/10;B08B13/00 |
代理公司: | 台州市台创工联专利代理事务所(普通合伙) 33427 | 代理人: | 金俊男 |
地址: | 225400 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于硅片生产技术领域,尤其是一种硅片生产切片去胶装置,针对切割晃动的问题,现提出以下方案,包括工作台和去胶箱,所述工作台的底部外壁设置有支撑腿,且工作台的顶部外壁安装有传动带,所述工作台的外壁两侧设置有切片箱,且切片箱的内壁两侧均设置有第二电动伸缩杆,第二电动伸缩杆的另一端设置有固定板,所述切片箱的顶部内壁设置有切割机构,且切片箱的一侧内壁设置有加热机构。本发明通过设置有电动伸缩杆、第二电动伸缩杆、固定板、光幕传感器、受光器和处理器,硅片经过光幕传感器时,受光器接收不到光信号,受光器将信号传递给处理器,处理器作用于电动伸缩杆和第二电动伸缩杆,便于对硅片进行固定和切割。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 生产 切片 装置 | ||
【主权项】:
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