[发明专利]一种焦点探测信号调制装置及方法在审
| 申请号： | 201911380243.1 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN113050379A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李道萍;庄亚政;季桂林 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种焦点探测信号调制装置及方法，焦点探测信号调制方法为一种差分测量方案，根据调制组件对调焦光束进行调制，提取出每一个离焦位置对应的光功率的差分信号，标定出每一个物方离焦位置与差分信号的关系。根据标定的差分信号与离焦量的关系，通过获取预设时间间隔内的光功率计算得到差分信号，反推得到物方离焦量。本发明提供的一种焦点探测信号调制方法，可运用在多种应用场合，如焦点探测，三维重构等，能够显著提升测量信噪比，提高调焦精度。本发明提供的焦点探测信号装置易于实现，操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 焦点 探测 信号 调制 装置 方法 | ||
【主权项】：
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