[发明专利]一种OLED有机蒸镀设备自动化激光清洗设备和方法在审
| 申请号： | 201911375755.9 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111069187A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 张正伟;刘宇航 | 申请（专利权）人： | 安徽富乐德科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B15/00;G01N21/3518 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OLED有机蒸镀设备自动化激光清洗方法，包括主控装置、机器人传动装置、激光发生装置、燃烧物处理装置、残留成分分析装置和工作台及夹具装置，通过机器人装置对防着板表面的有机污染物进行激光扫描及辐照，使得污染物升温膨胀或烧蚀，从而产生热应力或热振动致使污染物与待清洗物体的表面剥离或脱落，实现全自动化清洗，同时通过残留成分分析装置对清洗效果进行实时、快速的评估。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 有机 设备 自动化 激光 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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