[发明专利]感光性树脂组合物、感光性干膜、图案化抗蚀剂膜、带铸模基板及镀敷造形物的制造方法在审
| 申请号： | 201911374169.2 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN111381444A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 片山翔太;海老泽和明;木村谦太 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 陈亦欧;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了可适用于h线进行的曝光且镀敷液抗性优异的化学放大型正型感光性树脂组合物、具备由该化学放大型正型感光性树脂组合物构成的感光性树脂层的感光性干膜、该感光性干膜的制造方法、使用了所述化学放大型正型感光性树脂组合物的图案化的抗蚀剂膜的制造方法、使用了所述化学放大型正型感光性树脂组合物的带铸模基板的制造方法及使用了该带铸模基板的镀敷造形物的制造方法。含有通过活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂(A)和对碱的溶解性因酸的作用而增大的树脂(B)的化学放大型正型感光性树脂组合物中，产酸剂(A)包含具有特定的萘酰亚胺骨架的产酸剂,树脂(B)包含丙烯酸树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 图案 化抗蚀剂膜 铸模 造形 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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