[发明专利]多晶硅尾气处理回收系统及方法有效
申请号: | 201911372419.9 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN113044848B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 刘建华;陈海宝;郭宏才;李兴福;马英红;邵艳发;陈发龙;李英;张辉;高越;季世军;陈彩霞;郑连基;刘军;刘廷泽 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/12 | 分类号: | C01B33/12;C01C1/16;C01B3/52;C01B21/04 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 赵世发;王锋 |
地址: | 810007 青海*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本发明公开了一种多晶硅尾气处理回收系统及方法。所述多晶硅尾气处理回收系统包括第一尾气吸收单元、过滤分离单元、混合单元、第二尾气吸收单元、离心脱析单元、气体分离单元,所述第一尾气吸收单元与所述过滤分离单元、第二尾气吸收单元连接,所述过滤分离单元还与所述混合单元连接,第二尾气吸收单元与混合单元、离心脱析单元连接,所述离心脱析单元还与所述混合单元和/或第一尾气吸收单元连接。本发明提供的多晶硅尾气处理回收系统及方法,能够实现对多晶硅生产过程中产生的尾气进行无毒华净化处理,并能够将生成的物料进行回收利用,实现废物利用创造额外经济价值,且该系统中的水可以循环使用,进而实现了系统内部水消耗的零排放。 | ||
搜索关键词: | 多晶 尾气 处理 回收 系统 方法 | ||
【主权项】:
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