[发明专利]并联PPS电容器的制作方法及并联PPS电容器在审
| 申请号： | 201911370503.7 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111048662A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 汤志林;王卉;付永琴 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种并联PPS电容器的制作方法及并联PPS电容器，所述并联PPS电容器的制作方法包括：提供一衬底，所述衬底上形成有第一多晶硅层、第一介质层、第二多晶硅层、第二介质层及第三多晶硅层；利用第一光罩形成第一沟槽和第二沟槽；形成隔离层；利用第二光罩形成第一插塞、第二插塞及第三插塞，本发明在不额外增加光刻、刻蚀等多道工艺步骤的情况下，新增加一由所述第一多晶硅层、第一介质层及第二多晶硅层构成的第一PPS电容器，极大效率地利用了已有的所述第一多晶硅层、第一介质层，使得器件的总电容值有了显著的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 并联 pps 电容器 制作方法 | ||
【主权项】：
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