[发明专利]一种金属掩模板堵孔返修方法及装置在审
| 申请号： | 201911368193.5 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN110965021A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 杨涛;莫松亭;刘学明;杨志龙;刘贵福 | 申请（专利权）人： | 寰采星科技（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23F1/16;C23F1/08;C23F1/02 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 汪建华 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市海曙区高桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种金属掩模板堵孔返修方法，并提供配套的装置，通过溶液腐蚀的方法将蒸镀孔口处堵孔的金属消除，使蒸镀孔口的尺寸达到设计的要求，提高了掩模板的良品率，且本方法更易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 模板 返修 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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