[发明专利]卡盘校温装置及卡盘校温方法在审
| 申请号： | 201911366523.7 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111060223A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 刘建;李华 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01K15/00 | 分类号： | G01K15/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种卡盘校温装置及方法，该卡盘校温装置用于对卡盘中的第一温度传感器组进行校准；包括支架、第二温度传感器组、温控器和校温单元；卡盘包括一承载面，支架可拆卸的安装在卡盘上；第二温度传感器组设置在支架上，用于采集承载面的温度值；温控器分别与第一温度传感器组、第二温度传感器组和校温单元连接，用于接收来自第一温度传感器组的温度值、以及接收第二温度传感器组的温度值，并将两者皆传输至校温单元；校温单元用于根据第一温度传感器组的温度值、第二温度传感器组的温度值，获得第一温度传感器组的温度值与第二温度传感器组的温度值之间的关联关系，对卡盘中的第一温度传感器组进行校准。通过本发明提高了卡盘校温的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 卡盘 装置 方法 | ||
【主权项】：
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