[发明专利]一种用于电解沉积铜的组合物及酸铜电镀液有效
| 申请号： | 201911364343.5 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN110938848B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 周家珠;刘安;张兵;向文胜;赵建龙;朱坤;陆兰 | 申请（专利权）人： | 江苏艾森半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于电解沉积铜的组合物及酸铜电镀液，其包括将多胺化合物、硫脲类化学物混合，并在设定温度条件下发生脱氨聚合反应，再加入烷基化或质子化改性剂进行化学改性得到改性组合物，其中所述多胺化合物与所述硫脲类化学物混合摩尔比为1：10～10：1，所述烷基化或质子化改性剂的摩尔用量为所述多胺化合物的0.01‑10倍。本发明为一种具有良好流平性能的酸性电镀铜添加剂，酸铜电镀液能够沉积平坦的铜层并且能够填充微盲孔而不形成缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电解 沉积 组合 电镀 | ||
【主权项】：
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