[发明专利]一种用于柔性MEMS器件的转印工艺方法有效
| 申请号： | 201911364222.0 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111086971B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 崔岩;高志东;李嘉豪;于舜尧 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪;侯明远 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： |
本发明属于半导体/MEMS制造工艺技术领域，提供了一种用于柔性MEMS器件的转印工艺方法，尤其可利用于将在硅等刚性基底上制作完成的结构或器件，转印到如聚酰亚胺、PET、PDMS等柔性衬底上。在基于PZT的柔性压电能量收集器的案例中，针对该工艺成功率较低导致影响整体工艺的成功率，本发明创新性地提出了以PECVD沉积制作的SiN |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 柔性 mems 器件 工艺 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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