[发明专利]一种类富勒烯碳基复合薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及一种类富勒烯碳基复合薄膜及其制备方法，属于表面工程技术领域。本发明所述的复合薄膜中，采用碳膜作为过渡层，而且碳膜中的sp2键含量逐渐减少，sp3键含量逐渐增多，使过渡层硬度逐渐从接近基体到接近类富勒烯碳基层过渡，该复合薄膜具有硬度高、结合力好以及良好的耐磨损性能。本发明采用直流‑射频等离子体增强化学气相沉积技术制备，通过独立控制等离子体的密度及其能量，实现对类富勒烯碳基复合薄膜微结构的控制，克服了直流或射频等离子体增强化学气相沉积类富勒烯碳基薄膜等离子体能量和密度不能独立控制的不足。