[发明专利]一种硬脆材料的三维微加工方法

摘要

本发明公开了一种硬脆材料的三维微加工方法，属于激光微纳加工技术领域，本发明利用飞秒激光对硬质材料表面进行材料去除型烧蚀加工，由于飞秒激光的短脉冲和低平均功率的特性，加工过程中热效应较低，可以得到良好的表面以及边缘形貌。利用高数值孔径物镜产生紧聚焦光场对材料表面进行直写烧蚀，从而有效提高加工精度，减小加工线宽。本发明采用液体环境背面烧蚀的加工方式，将激光光斑聚焦到材料背面，激光与材料的强相互作用会在液体内部产生大量微气泡，利用气泡实现了对加工所产生的碎屑的实时去除，不仅解决了碎屑附着在材料表面带来的光斑散射问题，而且实现了三维体结构的烧蚀加工。