[发明专利]基于超表面结构的多功能阵列元件及多功能实现方法有效
| 申请号： | 201911351980.9 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111061070B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 赖建军;汪绍武 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学鄂州工业技术研究院;华中科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙) 42231 | 代理人： | 易贤卫 |
| 地址： | 436044 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于超表面结构的多功能阵列元件，所述多功能阵列元件由光学透明衬底、第一反射层、第一超表面结构层、第二反射层和第二超表面结构层组成；所述第一超表面结构层和第二超表面结构层具有相同的高度，且所述第一超表面结构层为等效介质层，所述第二超表面层为相位调控层。本发明实施例提供的基于超表面结构的多功能阵列元件及多功能实现方法通过采用具有等高度的第一超表面结构层代替传统FP滤光阵列中的不同腔长高度的介质层，同时采用具有灵活相位调控功能的第二超表面结构阵列，实现了各阵列单元多波长滤波和灵活的聚焦以及其他相位调控等功能，具有制造工艺相对简单，且兼容CMOS工艺，并易于与成像探测器集成的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 表面 结构 多功能 阵列 元件 实现 方法 | ||
【主权项】：
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