[发明专利]微米级格栅特征的一致性检测方法、装置及终端设备有效
| 申请号： | 201911342867.4 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN111192242B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 张晓东;梁法国;李锁印;韩志国;赵琳;冯亚南;许晓青 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/60 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 付晓娣 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明适用于半导体测试技术领域，提供了一种微米级格栅特征的一致性检测方法、装置及终端设备，该方法包括：采集微米级格栅图像，并对微米级格栅图像进行特征提取，获得微米级格栅图像中每个格栅的宽度特征和长度特征；根据每个格栅的宽度特征和每个格栅的长度特征，确定微米级格栅图像的格栅宽度方向一致性检测参数和微米级格栅图像的格栅长度方向一致性检测参数；根据格栅宽度方向一致性检测参数和格栅长度方向一致性检测参数，获得微米级格栅图像的格栅特征一致性检测结果。本发明的微米级格栅特征的一致性检测方法，检测结果客观准确，可以简单直观表示微米级格栅图像的格栅一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 微米 格栅 特征 一致性 检测 方法 装置 终端设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第十三研究所，未经中国电子科技集团公司第十三研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911342867.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
