[发明专利]一种透明材料的差动式暗场显微缺陷检测装置及方法在审
| 申请号： | 201911337112.5 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN110954558A | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 李璐璐;刘乾;张辉;黄文 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 宋辉 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透明材料的差动式暗场显微缺陷检测装置及方法，装置包括暗场照明单元、遮挡物、成像单元和显微物镜，暗场照明单元包括光源和照明镜头；光源、照明镜头、遮挡物、显微物镜依次设置在同轴光路上；成像单元包括分光镜、第一筒镜、第一CCD、第二筒镜、第二CCD，从显微物镜射出的光束可通过分光器分成2束，一束通过第一筒镜成像在第一CCD，另外一束通过第二筒镜成像在第二CCD上。第一CCD成像面位于焦后，第二CCD成像面位于焦前，二者的成像面到焦面的距离相等。本发明能够使用差动的轴向光强分析方法对被测样品缺陷进行三维检测，能够为工业生产和科学研究中的透明材料表面和内部的缺陷检测提供有效手段，具有高轴向分辨率、易实现等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 材料 差动 暗场 显微 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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