[发明专利]基于掺杂层辅助的大面积高质量石墨烯无损转移方法在审

专利信息
申请号: 201911335998.X 申请日: 2019-12-23
公开(公告)号: CN110963484A 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 黎大兵;陈洋;孙晓娟;贾玉萍;蒋科;石芝铭 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: C01B32/186 分类号: C01B32/186;C01B32/194
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 曹卫良
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明提供了一种基于掺杂层辅助的大面积高质量石墨烯无损转移方法,涉及二维材料的应用技术领域。本发明的基于掺杂层辅助的大面积高质量石墨烯无损转移方法,包括单层石墨烯薄膜的生长、掺杂层的生成、支撑层的贴附、催化金属衬底的去除、石墨烯薄膜转移的步骤,利用掺杂材料同时作为石墨烯转移的保护层和掺杂层,解决了现有石墨烯转移技术中石墨烯材料沾污、薄膜破损、电学性能差等诸多问题,还可以重复上述操作,转移制备逐层掺杂的大面积高质量多层石墨烯薄膜。本发明的基于掺杂层辅助的大面积高质量石墨烯无损转移方法,保证了释放到目标衬底上的石墨烯薄膜具有连续的表面形貌和完整的二维结构,同时改善了石墨烯的功函数和电导率。
搜索关键词: 基于 掺杂 辅助 大面积 质量 石墨 无损 转移 方法
【主权项】:
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