[发明专利]泄漏检查方法、泄漏检查装置、电镀方法、以及电镀装置在审
| 申请号： | 201911335354.0 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN111379005A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 铃木洁;藤方淳平 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D17/02;C25D21/06;C25D21/10;C25D7/12;G01M3/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苏琳琳;李慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供泄漏检查方法、泄漏检查装置、电镀方法、以及电镀装置，能适当辨别泄漏的程度。本方法实施第一检查，第一检查中一边对利用基板保持器的密封件形成的内部空间真空排气，一边测定内部空间的压力，检测上述压力在规定的第一检查时间内达到第一压力阈值的情况，在第一检查后实施第二检查，第二检查中将进行了真空排气的内部空间封闭，测定被封闭了的内部空间的压力，检测规定的第二检查时间内的被封闭了的内部空间的压力超出第二压力阈值且不上升的情况，在第二检查后实施第三检查，第三检查中测定被封闭了的内部空间的压力与主容器内的真空压力的压力差，检测规定的第三检查时间内的上述压力差的上升幅度维持在压力差阈值以下的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 泄漏 检查 方法 装置 电镀 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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