[发明专利]一种采用补偿镜的大曲率复杂镜面高精度测量方法在审
| 申请号： | 201911332452.9 | 申请日： | 2019-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN110986829A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 张祥朝;叶俊强;牛振岐;朱睿;徐敏 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明属于光学镜面测量技术领域，具体为一种采用补偿镜的大曲率复杂镜面高精度测量方法。本发明采用补偿镜实现零位偏折测量，具体是在检测光路中加入与大曲率复杂镜面曲率相反的参考补偿镜，将被测面形的绝对高度测量转化为相对于球面面形偏差的相对测量；具体步骤包括：将待测大曲率镜面拟合为球面，在光路中引入与拟合球面曲率符号相反的补偿反射镜，消除由于被测的完全镜面引起的光焦度，从而将传统偏折测量中的平面基准转化为球面基准，也即直接测量复杂镜面相对于球面的面形偏差，有效减小纵向量程和法向摆动范围，提高测量精度，提升对大曲率凸面与凹面光学镜面的测量能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 补偿 曲率 复杂 高精度 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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