[发明专利]一种残留气体带电粒子束流监测装置及其方法有效
| 申请号： | 201911308493.4 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111077561B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 赵承心;张月昭;杨海波;李先勤;周威;王瑶 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 孙楠 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种残留气体带电粒子束流监测装置及其方法，其包括超高真空腔，超高真空腔外部设置有磁铁，超高真空腔与支架连接，支架与引线法兰连接；电场器件和高精度二维位置灵敏探测器设置在支架上；探测器底部设置有像素芯片绑定板，电荷搜集型像素探测器位于像素芯片绑定板中心位置处，与像素芯片绑定板上的芯片外围电路连接，且像素芯片绑定板上的芯片外围电路通过对外接口与外部数据获取系统连接；位于像素芯片绑定板上部依次固定设置有阳极电子调节电极、MCP、MCP供电电极和二次电子抑制电极。本发明能够在超高真空环境中实时非拦截式地对带电粒子束流的密度分布、方向、强度和时间结构进行测量，能广泛应用于各质子加速器和重离子加速器中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 残留 气体 带电 粒子束 监测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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