[发明专利]一种悬空结构翘曲的检测方法有效
| 申请号： | 201911307602.0 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111076671B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 康晓旭;钟晓兰 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;马盼 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种悬空结构翘曲的检测方法，包括如下步骤：S01：在衬底上设置结构相同的悬空结构和非悬空结构；S02：在悬空结构的正上方对悬空结构和非悬空结构进行俯视成像，根据成像图形得到微桥的长度CD1和宽度CD2；S03：若微桥的长度CD1小于非悬空结构中微桥的长度CD1’，或者微桥的宽度CD2小于非悬空结构中微桥的宽度CD2’，则表明微桥发生翘曲，进入步骤S04；S04：测量悬空结构中微桥不同位置的焦距，若焦距大于非悬空结构中对应位置的焦距，则该位置发生向下的翘曲；若焦距小于非悬空结构中对应位置的焦距，则该位置发生向上的翘曲。本发明提供的一种悬空结构翘曲的检测方法，可以简单快捷地检测出悬空结构中悬梁臂和微桥的翘曲情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬空 结构 检测 方法 | ||
【主权项】：
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