[发明专利]用于制备PERC电池双面钝化膜的设备及其使用方法

摘要

本发明公开了用于制备PERC电池双面钝化膜的设备及其使用方法，设备包括第一净化台、第二净化台、第一炉管、第二炉管、第一石墨舟、第二石墨舟、插取片机械手、上料输送线和下料输送线，插取片机械手位于第一净化台、第二净化台、第一石墨舟与第二石墨舟围成的区域内，上料输送线包括依次设置的上料花篮、上料传输带和上料存储架，下料输送线包括依次下料花篮、下料传输带和下料存储架。方法包括上料输送、一次插片、背面叠层膜的制备、一次卸片、二次插片、正面减反射钝化膜、二次卸片、下料输送。本发明可在同一台设备内完成背面钝化膜、背面覆盖层和正面减反射钝化膜三种膜制备。