[发明专利]具有模场扩散结构的窄脊分布式反馈激光器及其应用在审
| 申请号： | 201911300059.1 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN110957633A | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 夏施君;许博蕊;祝宁华;包帅;袁海庆;孙甲政;班德超;徐长达;孙文惠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/0625 | 分类号： | H01S5/0625;H01S5/12;H01S5/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种具有模场扩散结构的窄脊分布式反馈激光器及其应用，该分布式反馈激光器包括N面电极层；衬底层；缓冲层；第一波导层；多量子阱有源层；第二波导层；光栅层；刻蚀自停止层；包层；欧姆接触层；以及P面电极层；其中，在所述包层和欧姆接触层上刻蚀形成脊波导，脊波导包括直波导和模场扩散结构。本发明利用水平方向脊宽的收缩，端面脊的断开以及端面淀积一层低折射率材料薄膜三种方案，能够有效地增大输出激光的模场面积，降低激光器端面的功率密度，提高激光器端面的损伤阈值，增大最大注入电流，增大带宽，提高无杂散动态范围，改善激光器的高频响应特性，提高调制速率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 扩散 结构 分布式 反馈 激光器 及其 应用 | ||
【主权项】：
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