[发明专利]热阻气体传感器有效
申请号: | 201911291931.0 | 申请日: | 2019-12-16 |
公开(公告)号: | CN111323452B | 公开(公告)日: | 2022-10-18 |
发明(设计)人: | 斯特凡·克莱尔;金特·马尔考克斯 | 申请(专利权)人: | 西门子股份公司 |
主分类号: | G01N25/18 | 分类号: | G01N25/18;G01N25/20;G01F1/69 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 李海霞 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种热阻气体传感器(1),其具有两个相同的扁平格栅(6、7),其由预定导电类型的半导体材料(4)构成,并连接在测量电桥的成对角线地相对置的分支中,其中,每个格栅(6、7)具有彼此平行地延伸的并且在端部(10、11;12、13)电并联的格栅接片(8、9)并且两个格栅(6、7)的格栅接片(8、9)彼此交替并排地位于共同的格栅平面中并在载板(2)中的窗口(5)上方延伸。 | ||
搜索关键词: | 气体 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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