[发明专利]热阻气体传感器有效

专利信息
申请号: 201911291931.0 申请日: 2019-12-16
公开(公告)号: CN111323452B 公开(公告)日: 2022-10-18
发明(设计)人: 斯特凡·克莱尔;金特·马尔考克斯 申请(专利权)人: 西门子股份公司
主分类号: G01N25/18 分类号: G01N25/18;G01N25/20;G01F1/69
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 李海霞
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种热阻气体传感器(1),其具有两个相同的扁平格栅(6、7),其由预定导电类型的半导体材料(4)构成,并连接在测量电桥的成对角线地相对置的分支中,其中,每个格栅(6、7)具有彼此平行地延伸的并且在端部(10、11;12、13)电并联的格栅接片(8、9)并且两个格栅(6、7)的格栅接片(8、9)彼此交替并排地位于共同的格栅平面中并在载板(2)中的窗口(5)上方延伸。
搜索关键词: 气体 传感器
【主权项】:
暂无信息
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