[发明专利]薄膜太阳能电池的光吸收层的制备方法

摘要

本发明公开了一种薄膜太阳能电池的光吸收层的制备方法，包括：制备铜铟镓预制层；在铜铟镓预制层上制备硒薄膜层，硒与铜镓之和的摩尔比大于1；将铜铟镓预制层置于退火炉中加热至第一预定温度后恒温第一预定时间；将铜铟镓预制层从第一预定温度加热至第二预定温度后恒温第二预定时间，以使预制层硒化；通过设置在退火炉中的喷淋装置通入硫化氢气体，以使得退火炉中的过量的硒蒸气被排出而保存有硫化氢气体；将铜铟镓预制层保持在第二预定温度保温第三预定时间实现硫化，制备获得铜铟镓硒硫光吸收层。本发明将铜铟镓预制层的硒化和硫化分步进行，避免硒化的过度和不均匀性，同时也保证了硫化的质量，提高光吸收层的品质。