[发明专利]一种用于蒸镀设备上的陶瓷点源有效
| 申请号： | 201911287027.2 | 申请日： | 2019-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN110983258B | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 刘汝强;刘强;王殿春;吴思华;刘庆毅;王之腾;孙蕾 | 申请（专利权）人： | 山东国晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 王楠 |
| 地址： | 251200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种用于蒸镀设备上的陶瓷点源，属于材料热蒸发技术领域，装置包括连接法兰、电极‑热电偶连接底座、冷却水套、保温部件、加热部件、蒸发腔室，连接法兰用于将陶瓷点源连接固定至外部设备，电极‑热电偶连接底座上贯穿设有外接电极和真空热电偶接头，连接法兰上方通过冷却水管连接到冷却水套，冷却水套内设置保温部件、加热部件，加热部件内形成蒸发腔室，加热部件包括加热器，提供热源，加热器下方设有加热器电极，加热器电极与外接电极连接，热电偶一端与真空热电偶接头连接，热电偶另一端位于蒸发腔室内，升温速度快、能耗低、温度均匀性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 设备 陶瓷 | ||
【主权项】：
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