[发明专利]一种MEMS能量收集器在审
| 申请号： | 201911281783.4 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111678510A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 李孟委;武绍宽;张瑞;金丽 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5733;H02K35/04;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11681 | 代理人： | 刘莹莹 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及一种MEMS能量收集器。本发明与背景技术相比具有明显的先进性，此能量收集器是采用MEMS工艺，以键合基板为载体，在外框上设置外框、敏感质量块和组合梁，并与外框吻合连接，在键合基板凹槽对称设置结构一样的永磁体，在敏感质量块上设置检测导线、引线电极和引线，检测组合梁由连接块、活动梁组成，此陀螺能量收集器设计合理简单、易单片集成、使用方便，整体结构合理简单，无需驱动，易小型化，是十分理想的用于收集能量的微型MEMS能量收集器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 能量 收集 | ||
【主权项】：
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