[发明专利]一种制造超导电缆导体薄膜的方法在审
| 申请号： | 201911278964.1 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN110904411A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 曹奎红;马江飞;马立明;马曼昆;曹琰 | 申请（专利权）人： | 河北环亚线缆有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/58 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 062550 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制造超导电缆导体薄膜的方法，利用脉冲激光沉积分子束外延薄膜制备系统生产基片薄膜，脉冲激光沉积分子束外延薄膜制备系统配备有涡轮分子泵将沉积室抽成真空。本发明提高准分子激光器的波长、单脉冲能量，加速脉冲粒子束速率，采用低脉冲能量和高重复频率的方法达到高速沉积优质薄膜的目的。本发明加大靶标与基片之间的距离；通过多次试验，靶标与基片由原来的3.5mm加大到4mm，这样有效避免过近产生膜片漏洞现象，也不会产生厚度不均现象。本发明装备简易，工艺流程简单易控制，制备的铁基超导薄膜表面平整，致密度好，表面内形成了内面60֯旋转的双畴结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制造 超导 电缆 导体 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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