[发明专利]贵金属溶液的添加控制方法及其装置在审
| 申请号: | 201911277435.X | 申请日: | 2019-12-12 |
| 公开(公告)号: | CN110904441A | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
| 发明(设计)人: | 卢俊岳;杨海龙;潘海进 | 申请(专利权)人: | 深南电路股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C18/42 | 分类号: | C23C18/42 |
| 代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 陈文斌 |
| 地址: | 518117 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本发明公开一种贵金属溶液的添加控制方法及其装置。其中,所述贵金属溶液的添加控制方法包括以下步骤:获取当前待沉积板件的受镀面积;根据所述受镀面积控制贵金属溶液添加量。本发明的技术方案能够实现贵金属溶液的自动添加,以提升沉积操作效率。 | ||
| 搜索关键词: | 贵金属 溶液 添加 控制 方法 及其 装置 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理





