[发明专利]一种基于机械加工方式制备纤锌矿型硅晶体的方法有效
| 申请号： | 201911267200.2 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN110952144B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 王兵;刘战强;蔡玉奎;宋清华;万熠;任小平;陈龙 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B33/10;C30B29/06;B28D5/00 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张晓鹏 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开属于硅晶体材料技术领域，具体涉及一种基于机械加工方式制备纤锌矿型硅晶体的方法。本发明研究发现通过机械加工对单晶硅表面施加一定的压强能够使加工接触面的晶型实现转变，本发明具体提供了通过犁切加工的方式对单晶硅表面进行加压，使接触面的晶型转变，并且通过退火热处理得到纤锌矿型结构。该方法实现了纤锌矿型硅晶体的高效高质、批量制备，并且制备方法简单，无需大型复杂设备支撑，成本经济，具有良好的推广意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 机械 加工 方式 制备 锌矿 晶体 方法 | ||
【主权项】：
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