[发明专利]一种带温度感测功能的MEMS气体传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201911262199.4 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN110988050A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 雷鸣;刘曰利;饶吉磊;詹欢欢;熊艳 | 申请（专利权）人： | 武汉微纳传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G01K7/16 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 谢洋 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区武大*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种带温度感测功能的MEMS气体传感器，包括：衬底、第一绝缘支撑层、电阻加热层、第二绝缘支撑层、第一叉指电极、第二叉指电极、温度感测电极及气敏材料层；第一绝缘支撑层设置在衬底上，电阻加热层设置在第一绝缘支撑层上，第二绝缘支撑层覆盖在电阻加热层上；第一叉指电极、第二叉指电极和温度感测电极设置在第二绝缘支撑层上；气敏材料层覆盖在第一叉指电极、第二叉指电极和温度感测电极上；第一叉指电极、第二叉指电极和温度感测电极位于同一层内，温度感测电极位于第一叉指电极和第二叉指电极之间。本发明提供的带温度感测功能的MEMS气体传感器，电阻加热层在寿命周期内不需要长时间承受较大电流的冲击，可解决电阻老化的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温度 功能 mems 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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