[发明专利]一种三维共聚焦的微束X射线衍射仪在审

专利信息
申请号: 201911251089.8 申请日: 2019-12-09
公开(公告)号: CN110907483A 公开(公告)日: 2020-03-24
发明(设计)人: 程琳;姜其立;刘俊;帅麒麟 申请(专利权)人: 北京师范大学
主分类号: G01N23/207 分类号: G01N23/207;G01N23/20091;G01N23/20025;G01N23/20016;G01N23/223;G01N23/2206;G01N23/2204
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100875 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种三维共聚焦的微束X射线衍射仪,包括:X射线源系统,X射线滤波片,毛细管会聚X光透镜,毛细管X光半透镜或平行束透镜,测角仪,三维样品台,X射线能谱探测器,控制系统和计算机;其中,样品置于样品台上;所述X射线源系统,X射线滤波片和毛细管会聚X光透镜位于同一直线上并安装在所述测角仪一侧;所述毛细管半透镜或平行束透镜和X射线能谱探测器位于同一直线上并安装在所述测角仪另一侧;所述X射线能谱探测器与计算机电连接;所述控制系统与所述三维样品台,测角仪和计算机电连接。具备三维共聚焦的微束X射线衍射和微束能量色散X射线荧光两种分析模式,能实现小样品或样品表面微区或内部一定深度处的元素和物相分析。
搜索关键词: 一种 三维 聚焦 射线 衍射
【主权项】:
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