[发明专利]体声波谐振器及制造方法、体声波谐振器单元、滤波器及电子设备在审
| 申请号： | 201911241860.3 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN111245397A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单晶薄膜体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，与底电极引脚相接；顶电极，与顶电极引脚相接；和压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：所述压电层为单晶薄膜压电层；所述声学镜、底电极、顶电极和单晶薄膜压电层在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域。顶电极的非引脚端以及底电极的非引脚端在谐振器的厚度方向上的投影中，可均与声学镜的边缘间隔开。本发明还涉及一种单晶薄膜体声波谐振器的制造方法，一种具有上述单晶薄膜谐振器的单晶薄膜体声波谐振器单元以及一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 制造 方法 单元 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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